2017中国国际微系统(MEMS)产品技术与应用展览会

1、MEMS器件:光学MEMS、射频MEMS、MEMS传感器、加速度计、陀螺仪、磁力计、电子罗盘、硅麦克风、MEMS微镜、MEMS惯性测量单元、BAW滤波器和双工器、微射流、微流引导等；
2、MEMS执行器：生物芯片、材料芯片、灯、泵、微流控芯片、EMS电池，微发电机等、
3、生物/化学MEMS：DNA/RNA技术，化学检测等、MEMS晶振；
4、高复合型MEMS：CMOS/MEMS,LSI/MEMS一体化、MEMSIP等；
5、MEMS应用：MEMS传感器解决方案、麦克风、显示等、超微型机械人装置、微型工厂等、传感器网络、能量收集等；
6、生物MEMS与医疗应用：MEMS技术在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA&RNA技术、微反应器、微流引导、微流控芯片等；
7、MEMS加工设备：光刻设备、镀膜设备、沉积设备、刻蚀设备、清洗设备设备、晶圆片键合；
8、MEMS代工/封测：MEMS中式平台；仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀；封装：MEMS封装、装配、分析测试和校准等；
9、NEMS系统：机械，热和磁传感器和执行器，以及系统、光机械微器件和微系统、流体微组件和微系统、数据存储的微装置、微生物医学工程、微化学分析系统、无线通信微装置和系统、用于电源和能量收集的微型设备、纳米机电装置和系统科学仪器等

国内标摊：18000元/个元/个
国外标摊：5500美元/个
国内特装：1800元/㎡元/㎡
国外特装：600美元/㎡